2023-05-19 0
晶圆切割机在切割晶圆时，崩边是一种常见的切割缺陷，影响切割质量和生产效率。要选用合适的切割刀以减少崩边，可以考虑以下几点：
根据晶圆尺寸和切割要求，选择合适的金刚石颗粒尺寸和浓度的切割刀。金刚石颗粒越大，切割能力越强，但同时对切割面的冲击力也较大。
刀片表面的光洁度和平整度对崩边的产生有很大的影响。使用干净、平整的刀片表面可以减少崩边的产生。
切割过程中，刀片和晶圆之间的距离和角度也会影响崩边的产生。合适的距离和角度可以使金刚石颗粒在切割过程中产生最大的切割力，从而减少崩边的产生。
切割温度和压力也会影响崩边的产生。过高或过低的温度和压力会使晶圆变形或破裂，从而导致崩边的产生。
刀片的安装精度和平衡度也会影响崩边的产生。刀片安装倾斜或不平衡会使金刚石颗粒在切割过程中产生不必要的振动和冲击，从而增加崩边的产生风险。
综上所述，要选用合适的切割刀以减少崩边，需要考虑以上因素，并根据具体情况进行调整和优化。
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