2023-08-05 0
划片机是一种用于切割晶圆(半导体材料)的设备。以下是划片机的一些系列:
精密划片机:这种划片机主要用于集成电路、太阳能电池、半导体器件、光学器件等行业的切割。精密划片机采用高刚性龙门式结构,旋转工作台安装在X轴上,采用DD马达直接驱动的方式来实现旋转运动,确保回转精度。机器可实现6、8、12英寸兼容,有效减少设备投入,从源头上降低生产链成本。采用超高精密级滚柱型导轨和滚珠型丝杆,确保全程切割的每一刀,行走直线偏差值≤1.5μm,定位精度可达2μm全行程。
砂轮划片机:主要用于切割硅基材料。砂轮划片机的工作原理是利用高速旋转的砂轮来切割硅片,其切片精度高、切缝小、效率高。
激光划片机:激光划片机使用激光技术来切割各种材料,包括半导体材料、玻璃、宝石等。激光划片机具有精度高、损伤小、效率高等优点。
水刀划片机:水刀划片机使用高压水流来切割各种材料,包括半导体材料、陶瓷、玻璃等。水刀划片机的优点是切割精度高、无热影响、无粉尘等。
以上是一些常见的划片机系列,每种划片机都有其特点和适用范围。需要根据具体的切割材料和要求来选择合适的划片机类型。
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