2024-12-26 0
Mini Micro LED MIP切割解决方案,国内首家MIP全自动切割设备,精准控制MIP微米级切割深度,MIP全自动上下料整机方案,COB工艺边切割,实现COB无缝拼接。
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全自动双轴晶圆划片机主要用于半导体晶圆、集成电路、QFN、发光二极管、LED芯片、太阳能电池、电子基片等的划切,适用于包括硅、石英、 氧化铝、氧化铁、砷化镓、铌酸锂、蓝宝石和玻璃等材料。其工作原理是通过空气静压主轴带动金刚石砂轮划切刀具高速旋转,将晶圆或器件沿切割道方向进行切割或开槽。 机型实现了晶圆从装片、对准、切割、清洗到卸片的自动化操作。该机型配置了大功率对向式双主轴,Z1和Z2轴上都配置了NCS和专用显微镜,大幅度减少对准和检查时间,从而降低人工成本、提高生产效率。
产品介绍:
● 1.8KW(2.4KW可选) 大功率直流主轴
● 高刚性龙门式结构
● T轴旋转轴采用DD马达
● 进口超高精密级滚柱型导轨
● 进口超高精密滚珠型丝杆
● CCD双镜头自动影像系统
● 友好人机交互界面
● 瑞士进口滚柱导轨,精度高,耐用性久,稳定性高,超高直线度,实测0.9μm
● 采用进口研磨级超高精密滚珠丝杠,定位精度可达2μm全行程
● 自动对焦功能,具有CSP切割功能,具有 在线刀痕检测功能
● NCS非接触测高,BBD刀破损检测,自动修磨法兰功能
● 工件形状识别功能,更加友好人机界面
● 自动化程序著提升
● 满足各种加工工艺需求
产品参数:
项目 | 产品型号 | BJX8160 划片机 MIP专机 |
加工尺寸 | ≤320*320 | |
运动方式 | 双轴对向式、全自动 | |
X轴 | 最大速度 | 600mm/s |
直线度 | 1.5μm全行程 | |
Y轴 | 有效行程 | 480mm |
定位精度 | 1μm全行程 | |
分辨率 | 0.1μm | |
Z轴 | 有效行程 | 40mm |
单步步尽量 | 0.0001mm | |
最大刀轮直径 | 60mm或定制 | |
T轴 | 转动角度范围 | 380 |
主轴 | 最大转速 | 60000rpm/min |
额定输出功率 | 直流(DC)1.5/1.8/2.4KW | |
基础规格 | 电源 | 三相AC220V/50Hz |
压缩空气 | 0.5-0.6Mpa、Max420L/min | |
切削水 | 0.2-0.3Mpa、Max 12L/min | |
排风流量 | 10m³/min | |
尺寸(mm) | 1500mm(W)×1600mm(D)×1800mm(H) | |
重量 | 2000kg |
应用领域:
IC、QFN封装、DFN封装、BGA封装、LED基板、光学光电、光通讯等行业
可切材料:
硅片、陶瓷、玻璃、氧化铝、PCB板、氮化铝、铌酸锂、石英等
138-2371-2890